Кремниевый порошок
Мелкие частицы кремния различной формы. Химический состав кремниевого порошка определяется методом производства. Получают порошок в основном дроблением кускового технического кремния или кремния полупроводниковой чистоты. Менее распространен способ получения кремниевый порошок термическим разложением моносилана (SiH4) при т-ре 400—800° С в условиях температурного градиента. Частицы образующегося при этом порошка (их размер 50 ч- 150 А) представляют собой ядро кремния, окруженное полисиланами. Дальнейшее прокаливание в вакууме позволяет получить порошок достаточно высокой степени чистоты.
Кремниевый порошок зернистостью 60 мкм уплотняют при давлении 1400 ми/см2 и т-ре 1300° С до пористости 20%. Создан также метод получения порошка (размер частиц 100 ч- 300 А) восстановлением двуокиси кремния магнием. Как правило, К, п., а также смеси кремния с другими элементами прессуют и спекают в защитной среде. Кремниевый порошок используют при производстве (методами порошковой металлургии) силицидов некоторых элементов, кремния сплавов, карбида кремния (абразива), полупроводникового карбида кремния и др.
Лит.: Салли И. В., Фалькевич Э. С. Производство полупроводникового кремния.
Вы читаете, статья на тему кремниевый порошок